一种硅片传输线

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摘要

本实用新型公开了一种硅片传输线，包括硅片转盘、硅片搬运装置和硅片传输台，硅片转盘包括转台和若干夹持平台，夹持平台均匀分布在转台外周，转台带动夹持平台转动；硅片搬运装置包括吸附传输平台，吸附传输平台的一端设置在转盘一侧的夹持平台上方，吸附传输平台的另一端设置硅片传输台的上方，所述吸附传输平台包括皮带传输线和吸孔，吸孔吸气能够将所述硅片从夹持平台上吸起，吸附在所述皮带传输线上，经所述皮带传输线传送到硅片传输台的上方，吸孔停止吸气，硅片落在硅片传输台上。本实用新型能够实现硅片在多个工位之间快速搬运，且最终完成硅片的运送，实现了生产、检测工位与传输工位的对接，能够精准抓取硅片，并且不会对硅片造成损伤。

基本信息

专利标题：

一种硅片传输线

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921228697.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-31

授权号：

CN210123725U

授权日：

2020-03-03

发明人：

张学强戴军张建伟罗银兵祝志强龚艳刚

申请人：

罗博特科智能科技股份有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号

代理机构：

苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

苏张林

优先权：

CN201921228697.2

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677 H01L21/683