液体回收装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种液体回收装置，包括：液体收集结构，其设置在晶圆化学机械研磨机台边缘旁侧，且位于晶圆化学机械研磨机台研磨液喷头下方，其能将晶圆化学机械研磨机台研磨液喷头流出的液体回收；液体导入结构，其一端连接液体收集结构，其另一端置于储液结构中；储液结构，其布置在晶圆化学机械研磨机台边缘旁侧，其用于存储回收的液体；送风装置，其设置在储液结构的旁侧，其能向储液结构内输送新风。本实用新型能收集预流的研磨液并通过扩散蒸发件和送风装置使回收研磨液中的超纯水蒸发，然后将剩余的研磨液输送回研磨机台再次利用，能大幅降低生产成本。
基本信息
专利标题 ：
液体回收装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921253050.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-05
授权号 ：
CN210732170U
授权日 ：
2020-06-12
发明人 ：
黄景山裴雷洪刘鹏
申请人 ：
上海华力集成电路制造有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区康桥东路298号1幢1060室
代理机构 ：
上海浦一知识产权代理有限公司
代理人 ：
焦天雷
优先权 ：
CN201921253050.5
主分类号 ：
B24B57/00
IPC分类号 ：
B24B57/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B57/00
磨削抛光或研磨剂的进料，加料，分选或回收设备
法律状态
2020-06-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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