喷嘴及其包含所述喷嘴的喷枪

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摘要

一种喷嘴及其包含所述喷嘴的喷枪，其中，喷枪包括：出料部，所述出料部包括第一区和第二区，所述第一区的侧壁设有若干第一出料口，所述第一出料口与所述出料部的内部空间连通；引流部，所述引流部靠近所述出料部的第二区并与所述出料部的内部空间连通，且所述引流部的侧壁设有引流槽，所述引流槽与引流部的内部空间连通；与所述引流部连接的枪体，所述枪体用于向引流部内输送涂料，所述涂料由引流部进入出料部并从第一出料口喷出。所述喷枪能够对高深宽比开孔的内侧壁进行喷涂工艺。

基本信息

专利标题：

喷嘴及其包含所述喷嘴的喷枪

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921261157.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-06

授权号：

CN210522907U

授权日：

2020-05-15

发明人：

杨桂林郭盛陈星建左涛涛王凯麟

申请人：

中微半导体设备（上海）股份有限公司

申请人地址：

上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

代理机构：

上海元好知识产权代理有限公司

代理人：

徐雯琼

优先权：

CN201921261157.4

主分类号：

B05B13/06

IPC分类号：

B05B13/06 B05B1/16 B05B12/08 B05B12/04 B05B5/12 B05B5/08 B05B5/16