下部电极模拟检测系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种下部电极模拟检测系统，包括检测箱，所述检测箱呈中空结构，其内部具有检测室；真空泵，其用于对所述检测室进行抽真空操作；导电接头，其竖向设置于检测室内，所述检测箱外侧壁上设有与该导电接头导通的检测接驳口。采用以上方案，充分模拟下部电极使用环境，排除环境空气及湿度等影响，快速检测下部电极电阻及漏电流等指标，大大提高检测效率和检测质量，有效防止不合格下部电极板用于生产，有利于提高后期蚀刻产品的良品率，同时减少安全事故。
基本信息
专利标题 ：
下部电极模拟检测系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921273571.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-07
授权号 ：
CN210465578U
授权日 ：
2020-05-05
发明人 ：
梁君李东一
申请人 ：
重庆臻宝实业有限公司
申请人地址 ：
重庆市九龙坡区西彭镇森迪大道66号附72号
代理机构 ：
重庆为信知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
周云涛
优先权 ：
CN201921273571.7
主分类号 ：
G01R31/00
IPC分类号 ：
G01R31/00 G01R31/52
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/00
电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置；在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L21/66；线路传输系统的测试入H04B3/46）
法律状态
2020-05-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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