一种FAB生产厂房
授权
摘要
本实用新型涉及集成电路生产技术领域，公开一种FAB生产厂房。FAB生产厂房，包括从上至下依次设置的洁净生产层、洁净下夹层和下技术夹层，其中，所述下技术夹层中增设有第一洁净生产区。增设的该第一洁净生产区位于洁净下夹层的下方，形成上下双层洁净室。在上述FAB生产厂房的下技术夹层增设洁净生产区，可以增大生产面积，减少晶圆的生产传输路线，也有利于消防疏散。
基本信息
专利标题 ：
一种FAB生产厂房
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921285784.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-08
授权号 ：
CN212027285U
授权日 ：
2020-11-27
发明人 ：
罗桥张东李成新安力壮侯崇强雍倩文
申请人 ：
世源科技工程有限公司;中国电子工程设计院有限公司
申请人地址 ：
北京市海淀区西四环北路160号玲珑天地大厦C座
代理机构 ：
北京同达信恒知识产权代理有限公司
代理人 ：
金银花
优先权 ：
CN201921285784.1
主分类号 ：
E04H5/02
IPC分类号 ：
E04H5/02 E04H1/12 E04F15/024
相关图片
IPC结构图谱
E
E部——固定建筑物
E04
建筑物
E04H
专门用途的建筑物或类似的构筑物；游泳或喷水浴槽或池；桅杆；围栏；一般帐篷或天篷
E04H5/00
工农业用的建筑或建筑群
E04H5/02
工业建筑物或建筑群，例如，发电站，工厂
法律状态
2020-11-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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