本实用新型公开了一种超纯水机过滤装置，包括机体，所述机体内设置有过滤箱，过滤箱上端开设有进水口，进水口上端设置有安装螺纹，所述过滤箱通过安装螺纹密封连接，所述过滤箱下端连通有第一连接管，且过滤箱右侧连通有第二连接管，所述第一连接管下端连通有杀菌箱，所述过滤箱右侧依次设置有水泵、活性炭过滤器和反渗透箱，所述水泵、活性炭过滤器和反渗透箱均通过第二连接管依次连接。本实用新型通过设置过滤箱、活性炭过滤器、反渗透箱和分流箱，经过层层过滤，有效的去除水中的杂质颗粒物及有机物，提高了水的纯度，通过设置杀菌箱，便于将管道中的废水进行杀菌处理，之后通过排污管排出，便于清理。