一种防微振平台
授权
摘要
本实用新型提供了一种防微振平台，包括沿竖直方向层叠的工艺层及回风层，工艺层位于回风层的上方。防微振平台还包括环绕设置在工艺层上的第一围护墙、以及环绕设置在回风层上的第二围护墙。防微振平台还包括设置在第一围护墙顶部且与工艺层相对的过滤器。该防微振平台还包括用于支撑所述工艺层及所述回风层且阵列排列的多个支撑柱。工艺层包括位于每排支撑柱或每列支撑柱中相邻的两个支撑柱之间的cheese板、以及位于由cheese板围成的口字形区域内的华夫板，且cheese板及华夫板上设置有与第一回风夹道连通的通孔。通过在工艺层上相邻的两个支撑柱之间设置cheese板、在由cheese板围成的口字型区域内设置华夫板，以提高工艺层上的竖向刚度，提高工艺层的防微振性能。
基本信息
专利标题 ：
一种防微振平台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921308409.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-13
授权号 ：
CN210828513U
授权日 ：
2020-06-23
发明人 ：
赵广鹏冯晓伟胡斌徐建雄
申请人 ：
世源科技工程有限公司
申请人地址 ：
北京市海淀区西四环北路160号玲珑天地大厦C座
代理机构 ：
北京同达信恒知识产权代理有限公司
代理人 ：
万晓君
优先权 ：
CN201921308409.4
主分类号 ：
E04H5/02
IPC分类号 ：
E04H5/02 F24F3/16 F24F13/28
IPC结构图谱
E
E部——固定建筑物
E04
建筑物
E04H
专门用途的建筑物或类似的构筑物；游泳或喷水浴槽或池；桅杆；围栏；一般帐篷或天篷
E04H5/00
工农业用的建筑或建筑群
E04H5/02
工业建筑物或建筑群，例如，发电站，工厂
法律状态
2020-06-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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