一种光阻去除机上运动位置监控系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种光阻去除机上运动位置监控系统，属于机台隔绝门技术领域。一种光阻去除机上运动位置监控系统，包括气缸和隔绝门主体，所述气缸连接在隔绝门主体的内壁，所述气缸的输出端通过推杆转动连接有三角块，所述隔绝门主体内还连接有支架，所述支架上连接有固定套，所述固定套内转动连接有导杆，所述导杆的底部连接有连接块，所述连接块与三角块转动相连，且所述支架的内壁开凿有凹槽，所述凹槽的内壁与三角块之间连接有弹簧，所述支架的底部外壁连接有第一磁感传感器，所述气缸的外壁连接有第二磁感传感器；本实用新型能够侦测隔绝门的实际位置，避免传感器损坏时出现操作错误，能够使机器及时停机报警。
基本信息
专利标题 ：
一种光阻去除机上运动位置监控系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921311480.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-14
授权号 ：
CN210925949U
授权日 ：
2020-07-03
发明人 ：
王浩明陈永萍
申请人 ：
苏州子山半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区唯新路69号一能科技园5幢102室
代理机构 ：
苏州国卓知识产权代理有限公司
代理人 ：
薛芳芳
优先权 ：
CN201921311480.8
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 G01V3/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-07-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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