一种半导体厂房洁净室中的通风管空气过滤装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种半导体厂房洁净室中的通风管空气过滤装置,其包括管体以及固定设置在管体内部的静电除尘圈,所述静电除尘圈的轴线与管体的轴线重合,静电除尘圈中的吸尘圈表面通有静电。本实用新型具有对外界进入通风管的空气进行一个初步的过滤、减少滤片上灰尘量的效果。
基本信息
专利标题 :
一种半导体厂房洁净室中的通风管空气过滤装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921311504.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-12
授权号 :
CN210522153U
授权日 :
2020-05-15
发明人 :
吴礼智
申请人 :
广东钜宏科技股份有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市南山区西丽街道朗山路13号清华紫光科技园9层A909室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921311504.X
主分类号 :
B01D50/00
IPC分类号 :
B01D50/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D50/00
用于从气体或蒸气中分离粒子的组合器械
法律状态
2020-05-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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