一种真空反应室的阀门动态密封结构
授权
摘要

本实用新型公开了一种真空反应室的阀门动态密封结构,包括固定板和固定架,所述固定架的上端安装有固定板,所述固定架的下端外壁上设置有底板,所述底板的靠近左侧周长外部套接有固定座,所述底板和固定座通过六角螺母固定连接,所述固定架的前端左侧外壁上连接有向前延伸的固定片,通过将阀门动态密封结构改为波纹管密封结构,将其安装在真空和大气的交界处,导杆伸缩直接拉伸或压缩波纹管,不予机台直接摩擦,即避免了导杆与机台摩擦,使得阀门在使用时密封结构的摩擦能够大大减少密闭效果长时间使用也不会变差的问题,而且波纹管装置连接结构较为简单,安装实现此结构并不难,使得阀门动态密封结构的使用性能得到进一步提升。

基本信息
专利标题 :
一种真空反应室的阀门动态密封结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921312702.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-14
授权号 :
CN210531746U
授权日 :
2020-05-15
发明人 :
王浩明陈永萍张广德
申请人 :
苏州子山半导体科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市工业园区唯新路69号一能科技园5幢102室
代理机构 :
苏州国卓知识产权代理有限公司
代理人 :
薛芳芳
优先权 :
CN201921312702.8
主分类号 :
F16K51/02
IPC分类号 :
F16K51/02  F16K27/00  F16K41/10  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16K
阀;龙头;旋塞;致动浮子;通风或充气装置
F16K
阀;龙头;旋塞;致动浮子;通风或充气装置
F16K51/00
非专门用于特殊型式的阀或切断装置的其他部件
F16K51/02
专门适用于高真空设备
法律状态
2020-05-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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