本实用新型提供一种用于螺杆钻具马达喷涂类金刚石碳涂层的装置，包括真空室、管路、加热炉、温度传感器、压力传感器和控制器，真空室用于放置待喷涂的定子，真空室的一侧设有通入喷涂蒸汽的管路，真空室的底部设有为真空室提供热源的加热炉，真空室上还设有温度传感器、压力传感器，温度传感器和压力传感器分别和控制器相连。本实用新型的有益效果是：类金刚石碳材料涂层应用于部件表面之后，可以提供很好的挠性，与未经此材料喷涂的部件相比，可以用较低的摩擦产生较少的热量，降低磨损量，延长寿命。