本实用新型公开了一种超净CEMS探头，属于一种烟气探头，包括取样管、前端盖、外套管、滤芯、后端盖、出气管和加热装置，所述外套管的两端开口处分别固定有前端盖和后端盖，前端盖上通过固定螺钉固定有法兰盘，取样管通过固定套连接在前端盖上，所述后端盖上固定有滤芯固定座，滤芯固定座上安装有滤芯，滤芯处于外套管内，所述滤芯固定座内设有出气孔，出气孔通过连接管与出气管连接，所述滤芯固定座在对应滤芯的安装面上设有超声波发生器，本实用新型的有益效果是：在取样完成后，通过超声波发生器和反吹管的协同作用，来对滤芯表面附着的粉尘等进行清理，能保证本装置内部及滤芯表面的洁净，对下次取样不会造成影响。