本实用新型公开了工业废气处理装置技术领域的一种可循环利用的工业废气臭氧杀菌装置，包括箱体，所述箱体左侧中央外壁与臭氧发生器连通，所述箱体右侧中央外壁与进气口连通，所述箱体左右两侧顶部内壁之间设置有喷淋盘，所述储水箱内腔底部设置有泵，且导管远离泵的一端延伸至箱体的内腔并与喷淋盘顶部外壁连通，所述箱体顶部中央外壁开设有排气孔，所述箱体右侧底部外壁通过连接管与收集箱连通，装置中使用过的水进入到收集箱中进行收集，通过水泵将水输送到储水箱中再次进行利用，避免使用后的水直接排出而造成浪费，并且水循环使用，降低装置杀菌过程中所使用的水量，增加装置的使用效果。