一种气体激光谐振腔处理装置
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摘要
本实用新型涉及一种气体激光器制造技术，特别是关于一种气体激光谐振腔处理装置。所述气体激光谐振腔处理装置使用金属接头(7)将真空管路(10)和排气阳极(5)连接，在谐振腔与装置间形成双通道，并在主管路上设置隔断阀(12)，实现谐振腔内毛细孔辉光放电清洗的同时工作气体在谐振腔毛细孔中连续流动。本实用新型气体激光谐振腔处理装置可在放电清洗过程中及时排出谐振腔内杂质，全面提升谐振腔内洁净度，增强气体激光器工作可靠性和稳定性，同时双排气阳极设计加强了结构和放电对称性，有利于优化激光器参数，具有较大的实际应用价值。
基本信息
专利标题 ：
一种气体激光谐振腔处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921338283.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-16
授权号 ：
CN210245945U
授权日 ：
2020-04-03
发明人 ：
承军陈泽学杨劲陈禹张振辉
申请人 ：
中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所
申请人地址 ：
陕西省西安市雁塔区锦业路129号
代理机构 ：
中国航空专利中心
代理人 ：
张毓灵
优先权 ：
CN201921338283.5
主分类号 ：
H01S3/03
IPC分类号 ：
H01S3/03 B08B5/04
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法律状态
2020-04-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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