一种激光定向检测碳化硅极性装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型属于碳化硅检测技术领域,尤其是一种激光定向检测碳化硅极性装置,针对现有的碳化硅极性测试操作不便,极性检测不准确的缺点,而提出如下方案,其包括机架,所述机架的一侧设有检测台和冷却水箱,机架的顶侧设有旋转工作台,旋转工作台的顶侧放置有碳化硅晶体,检测台的顶侧固定安装有两个滑轨,两个滑轨的顶侧滑动安装有同一个移动板,移动板的顶侧固定安装有安装架,安装架上设有安装板。碳化硅外圆和晶体磨削完成后,将待检测极性的碳化硅晶体放置在旋转工作台上,伺服电机控制安装板向右移动,探针触碰到碳化硅晶体的外圆时,旋转工作台开始旋转,当极性定向准确后,伺服电机停止,碳化硅晶体的极性测试准确,操作方便。
基本信息
专利标题 :
一种激光定向检测碳化硅极性装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921339155.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-19
授权号 :
CN210604938U
授权日 :
2020-05-22
发明人 :
顾青龙施尔畏孔海宽陈辉
申请人 :
安吉圆磨机械科技有限公司;中国科学院上海硅酸盐研究所湖州先进材料产业创新中心
申请人地址 :
浙江省湖州市安吉县梅溪镇晓墅工业园区1幢(浙江勤龙机械科技股份有限公司内)
代理机构 :
北京正理专利代理有限公司
代理人 :
陈君智
优先权 :
CN201921339155.2
主分类号 :
G01R31/56
IPC分类号 :
G01R31/56 G01R1/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R31/56
测试电气设备
法律状态
2022-05-24 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : G01R 31/56
变更事项 : 专利权人
变更前 : 安吉圆磨机械科技有限公司
变更后 : 安吉圆磨机械科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 313000 浙江省湖州市安吉县梅溪镇晓墅工业园区1幢(浙江勤龙机械科技股份有限公司内)
变更后 : 313000 浙江省湖州市安吉县梅溪镇晓墅工业园区1幢(浙江勤龙机械科技股份有限公司内)
变更事项 : 专利权人
变更前 : 中国科学院上海硅酸盐研究所湖州先进材料产业创新中心
变更后 : 中国科学院上海硅酸盐研究所湖州先进材料产业创新中心
变更事项 : 专利权人
变更前 : 安吉圆磨机械科技有限公司
变更后 : 安吉圆磨机械科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 313000 浙江省湖州市安吉县梅溪镇晓墅工业园区1幢(浙江勤龙机械科技股份有限公司内)
变更后 : 313000 浙江省湖州市安吉县梅溪镇晓墅工业园区1幢(浙江勤龙机械科技股份有限公司内)
变更事项 : 专利权人
变更前 : 中国科学院上海硅酸盐研究所湖州先进材料产业创新中心
变更后 : 中国科学院上海硅酸盐研究所湖州先进材料产业创新中心
2020-05-22 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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