激光SE电池的生产线
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型公开了一种激光SE电池的生产线，包括依次设置的：激光掺杂机，链式氧化炉，以及链式刻蚀机；这三个设备的输送机构依次对接。硅片可由这三个设备的输送机构接力输送；激光掺杂机输出的激光掺杂处理后硅片可直接输入链式氧化炉，链式氧化炉输出的热氧化处理后硅片可进直接输入链式刻蚀机。链式氧化炉中的硅片可在第二输送机构的输送过程中被氧化，故链式氧化炉可连续生产，可大大提高产能；且本实用新型不需要采用石英舟装载硅片，可省去石英舟的插片和取片动作，可大大减少硅片的碎片发生率。
基本信息
专利标题 ：
激光SE电池的生产线
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921358752.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-21
授权号 ：
CN210110824U
授权日 ：
2020-02-21
发明人 ：
符黎明任常瑞王敏陈颖
申请人 ：
常州时创能源科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921358752.X
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/67
法律状态
2020-04-10 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 31/18
变更事项 : 专利权人
变更前 : 常州时创能源科技有限公司
变更后 : 常州时创能源股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号
变更后 : 213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 常州时创能源科技有限公司
变更后 : 常州时创能源股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号
变更后 : 213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号
2020-02-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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