一种用于光刻胶生产的尾气处理装置
授权
摘要
本实用新型提供一种用于光刻胶生产的尾气处理装置，包括风机、冷却箱、水箱、第二水箱、除尘室、导管、过滤室、杀菌室及熏香室，所述风机安装在风管上，风管外侧环绕有冷却管，冷却管内部穿过冷却箱内部，冷却管两端均安装在水箱内，风管一端与除尘室内部连通，除尘室内部安装有喷淋装置，喷淋装置下端设有喷头，喷淋装置上端设有水管连接块，水管连接块与水管连接，水管另一端与第二水箱连接，除尘室另一端连接导管，导管另一端连接过滤室，过滤室另一端与杀菌室内部连接，杀菌室另一端连接熏香室，熏香室外侧设有出风口，多个过滤方式，从多个层面对废气进行过滤处理，确保过滤后的废气不含污染物且没有臭味，环保健康。
基本信息
专利标题 ：
一种用于光刻胶生产的尾气处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921368773.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-22
授权号 ：
CN210495747U
授权日 ：
2020-05-12
发明人 ：
周国波陈武档赖艺珠梁荣增宋里千
申请人 ：
福建泓光半导体材料有限公司
申请人地址 ：
福建省漳州市高新区九湖镇林前村林前773号
代理机构 ：
北京立成智业专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张江涵
优先权 ：
CN201921368773.X
主分类号 ：
B01D50/00
IPC分类号 ：
B01D50/00 B01D53/74
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D50/00
用于从气体或蒸气中分离粒子的组合器械
法律状态
2020-05-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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