一种真空气浮轴承及其性能检测装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种真空气浮轴承及其性能检测装置，该气浮轴承包括至少一级抽气通道，采用本实用新型的多级抽气结构的真空气浮轴承，可以把提供给平面气浮轴承的气体抽排出真空腔体，将平面气浮轴承对真空度的影响减小到可接受的范围。该检测装置包括真空室；分别与真空室连接的多级抽气管路、抽真空管路、进气管路、氮气管路，真空室还连接一真空室真空计，该性能检测装置能够准确的评估该真空气浮轴承是否符合实际真空环境的使用需求，还可判断该真空气浮轴承工作时对真空环境的影响。
基本信息
专利标题 ：
一种真空气浮轴承及其性能检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921393672.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-26
授权号 ：
CN210859562U
授权日 ：
2020-06-26
发明人 ：
成荣朱煜杨开明刘相波王利臣
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
北京市海淀区清华园1号
代理机构 ：
北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
左文
优先权 ：
CN201921393672.8
主分类号 ：
F16C32/06
IPC分类号 ：
F16C32/06 G01M13/04
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16C
轴；软轴；在挠性护套中传递运动的机械装置；曲轴机构的元件；枢轴；枢轴连接；除传动装置、联轴器、离合器或制动器元件以外的转动工程元件；轴承
F16C
轴；软轴；在挠性护套中传递运动的机械装置；曲轴机构的元件；枢轴；枢轴连接；除传动装置、联轴器、离合器或制动器元件以外的转动工程元件；轴承
F16C32/00
不包含在其他类目中的轴承
F16C32/06
带有至少在很大程度上不是由轴的运动形成的流体垫所支承的运动元件，如流体静力气垫轴承
法律状态
2020-06-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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