本实用新型提供了一种太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置，包括底座、直线滑轨机构和用于驱动回反射镜于直线滑轨机构上作直线往复运动的音圈电机；直线滑轨机构包括固定于底座上的滑块和用于带动回反射镜作直线往复运动的导轨，滑块上对应设有配合导轨直线移动的滑槽，滑轨滑动安装于滑槽中，音圈电机的动力输出端与所述导轨相连。本实用新型提供了一种太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置。通过把直线滑轨机构重量相对较大的滑块固定安装在底座上，并将重量相对较小的导轨滑动安装于滑块上，以通过导轨带动回反射镜于底座上作直线往复运动，减小了往复运动部件惯量的产生，从而有效降低运动部件的惯性对音圈电机驱动回反射镜往复运动频率的影响。