平面相对位置检测工具

授权

摘要

本申请涉及一种平面相对位置检测工具，用于检测相互平行的可调平面与基准平面的相对高度，检测工具包括：基底；第一距离传感器，集成于基底内，用于检测沿第一方向，第一距离传感器与基准平面之间的第一距离，该第一方向是与基准平面垂直的方向；及第二距离传感器，集成于基底内，用于检测沿第一方向，第二距离传感器与可调平面之间的第二距离。根据第一距离、第二距离以及第一距离传感器和第二距离传感器在第一方向的参考相对距离，便能获取相互平行的基准平面和可调平面的相对高度。

基本信息

专利标题：

平面相对位置检测工具

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921433245.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-30

授权号：

CN210375009U

授权日：

2020-04-21

发明人：

李松雨

申请人：

长鑫存储技术有限公司

申请人地址：

安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司

代理人：

罗平

优先权：

CN201921433245.8

主分类号：

G01B11/06

IPC分类号：

G01B11/06 G01B11/02