膜厚仪和检测设备
授权
摘要

本实用新型涉及镀膜技术领域,具体而言,涉及一种膜厚仪和检测设备。膜厚仪包括壳体、信息接受模块、信息处理模块和信息交互模块;壳体上设置有传感器接口;传感器接口与信息接受模块电连接,信息接受模块与信息处理模块电连接,信息处理模块与信息交互模块电连接;信息接受模块被配置为接受传感器的信号并传递给信息处理模块;信息处理模块被配置为处理信息接受模块输入信息处理模块的信号,并输出处理信号;信息交互模块被配置为向外部设备传递信息处理模块的处理信号,和/或接受外部设备的交互信号并传输至信息处理模块。其能够高效、快捷地完成多种情况下对薄膜厚度的测定,其交互效果好,经济效益出众。

基本信息
专利标题 :
膜厚仪和检测设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921447207.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-02
授权号 :
CN210862598U
授权日 :
2020-06-26
发明人 :
弗拉基米尔·克雷姆尼察敬文华叶世伟
申请人 :
江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道1198号
代理机构 :
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
赖俊科
优先权 :
CN201921447207.8
主分类号 :
G01B21/08
IPC分类号 :
G01B21/08  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B21/00
不适合于本小类其他组中所列的特定类型计量装置的计量设备或其零部件
G01B21/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B21/08
用于计量厚度
法律状态
2020-06-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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