一种激光式线位移传感器校准装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种激光式线位移传感器校准装置，它包括机架、精密滚珠丝杆组件、组合滑台、弹性活动夹具、传感器安装座、3#延长连接板、接收板、激光干涉仪、上位机。上位机根据被校传感器量程结合相关校准规范控制精密滚珠丝杆组件直线运动；被校传感器平置在安装于具有多维运动的组合滑台上的传感器安装座上经定位后弹性活动夹具夹紧，3#延长连接板上的接收板接收被校传感器的激光；调整组合滑台四维位置，使得激光干涉仪的光轴在被校传感器测量轴的延长线上；激光干涉仪实时测量精密滚珠丝杆组件上的滑块位移与被校移传感器位移进行比较形成校准结果。本实用新型遵循阿贝原则，具有精度高、效率高、智能化、易搬运、便安装等特点。
基本信息
专利标题 ：
一种激光式线位移传感器校准装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921453003.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-03
授权号 ：
CN210603199U
授权日 ：
2020-05-22
发明人 ：
邓玉湖曾庆威郑振强林燮佳张智琪黄晓冬王丽红罗秋华杨图强
申请人 ：
龙岩市计量所
申请人地址 ：
福建省龙岩市新罗区溪南路40号
代理机构 ：
厦门市首创君合专利事务所有限公司
代理人 ：
李钦海
优先权 ：
CN201921453003.5
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2020-05-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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