基于反射成像的曲面镜面三维检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种基于反射成像的曲面镜面三维检测装置，包括工作架，所述工作架的内部安装有样品台、图像发生装置、至少两组图像采集装置和升降装置；所述图像发生装置和两组所述图像采集装置均位于所述样品台的上方；所述升降装置驱动所述样品台靠近和/或远离所述图像采集装置；所述图像采集装置与接收端信号连接。本实用新型具有至少两组图案采集装置，同时具有样品升降装置，可以根据被测曲面镜面样品的尺寸和表面陡度范围来调节测量视场大小，适应性强，采集的三维轮廓数据与标准设计数据进行对比处理得到三维轮廓误差，提高检测镜面轮廓的精度与效率。
基本信息
专利标题 ：
基于反射成像的曲面镜面三维检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921460966.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-04
授权号 ：
CN210321639U
授权日 ：
2020-04-14
发明人 ：
万新军
申请人 ：
苏州瑞霏光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市太仓市娄东街道北京东路88号东B幢
代理机构 ：
苏州周智专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
周雅卿
优先权 ：
CN201921460966.8
主分类号 ：
G01B11/25
IPC分类号 ：
G01B11/25
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
G01B11/25
通过在物体上投影一个图形，例如莫尔条纹
法律状态
2020-04-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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