氨水管路

授权

摘要

本实用新型提供的种氨水管路，包括：缓冲罐、泵、流量测量装置、混合路控制阀、混合罐、排气管路；缓冲罐下方设有出液口；泵的进口端通过第一管路连接缓冲罐的出液口；流量测量装置通过第二管路连接泵的出口端；混合路控制阀通过第三管路连接流量测量装置；混合罐通过第四管路连接混合路控制阀；排气管路支路连通于第二管路上；排气管路包含第一段排气管、排气控制阀和第二段排气管；第一段排气管与第二管路支路连通，排气控制阀分别连接第一段排气管和第二段排气管，第二段排气管与缓冲罐的上部连接。据此，氨水在所述氨水管路中循环时，能够及时排出管路中产生的气泡，减少了泵的空管现象，进而提高氨水循环管路中的流量稳定性。

基本信息

专利标题：

氨水管路

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921478998.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-06

授权号：

CN210771455U

授权日：

2020-06-16

发明人：

汪正韦黄景山刘鹏

申请人：

上海华力集成电路制造有限公司

申请人地址：

上海市浦东新区良腾路6号

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司

代理人：

顾浩

优先权：

CN201921478998.0

主分类号：

F17D1/08

IPC分类号：

F17D1/08 F17D3/01