表面除尘设备

授权

摘要

本实用新型提供了一种表面除尘设备，包括传动机构、除尘辊组机构和升降机构，传动机构用于带动基片的移动；除尘辊组机构包括分别位于传动机构的相对两侧的两个粘尘组件；每一粘尘组件均包括至少两个胶轮组；升降机构包括驱动胶轮组升降的若干升降件，升降件驱动位于同侧的胶轮组依次间隔与基片相抵接。本实用新型提供的表面除尘设备，通过两侧的粘尘组件同时对基板的两侧面进行吸附，达到较好的除尘效果，升降机构带动基片上侧或下侧的胶轮组依次间隔的与基片相接触，达到延长胶轮组单次寿命的目的，延长整个表面除尘设备的使用时间，避免停机时间过于频繁。

基本信息

专利标题：

表面除尘设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921487785.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-06

授权号：

CN210614551U

授权日：

2020-05-26

发明人：

周方邓贵兵张万里

申请人：

深圳市凯中精密技术股份有限公司

申请人地址：

广东省深圳市坪山区龙田街道规划四路1号

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司

代理人：

张乐乐

优先权：

CN201921487785.4

主分类号：

B08B7/00

IPC分类号：

B08B7/00