一种电子级磷烷提纯装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种电子级磷烷提纯装置，包括原料钢瓶、精馏塔、产品储罐以及产品钢瓶，精馏塔包括再沸器、精馏塔身以及精馏冷凝器，精馏塔身中设有填料，再沸器设有位于其上段的原料入口，精馏塔身设有位于其中段的产品出口，原料钢瓶与原料入口连通，产品储罐的入口与产品出口连通；提纯装置还包括设于再沸器和精馏塔身之间的吸附塔身，吸附塔身中设有吸附剂，吸附塔身的下端口与再沸器的气相出口连通，吸附塔身的上端口与精馏塔身的下端口连通。将吸附塔身设在再沸器和精馏塔身之间，并采用侧线采出的方案使得原料经过一个塔就能得到合格产品。减少了吸附塔或者精馏塔设备个数，减少设备投资。

基本信息

专利标题：

一种电子级磷烷提纯装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921506567.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-11

授权号：

CN210620249U

授权日：

2020-05-26

发明人：

金向华温海涛孙猛王新喜栗鹏伟齐相前刘晶

申请人：

苏州金宏气体股份有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市相城区黄埭镇潘阳工业园安民路6号

代理机构：

苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

陆金星

优先权：

CN201921506567.0

主分类号：

C01B25/06

IPC分类号：

C01B25/06