本实用新型公开了一种湿法磷酸净化深度脱氟装置，包括依次连接的脱氟反应槽、过滤装置、浓缩闪蒸装置以及汽提塔，其中所述脱氟反应槽连接有氢氧化钠加入管和磷酸加入管，浓缩闪蒸装置的液体出口与汽提塔上部的进料口连接，汽提塔的下部设有蒸汽口，汽提塔的塔底连接有净化磷酸出料管，采用本实用新型磷酸和氢氧化钠在脱氟反应槽内充分反应后生成氟硅酸钠沉淀，经过滤除去沉淀后液体进入浓缩闪蒸装置进行浓缩闪蒸，经过两次闪蒸后磷酸中的绝大部分氟被去除，在此基础上经汽提塔再次汽提除氟后，磷酸中残留的氟被彻底脱除。