一种四氟化硅反应器用机封

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摘要

本实用新型涉及机封技术领域，尤其是涉及一种四氟化硅反应器用机封。本实用新型的技术方案是这样实现的：一种四氟化硅反应器用机封，包括机封本体，其特征在于：所述机封本体顶部设有压紧圈，所述压紧圈与机封本体之间设有固定螺钉；所述机封本体中部设有安装空间，内部设有工作空腔，所述工作空腔内部设有限位弹簧，所述限位弹簧底部设置有与工作空腔相适配的橡胶垫；该橡胶垫与限位弹簧固定连接；限位弹簧的顶部设置有用于防止灰尘进入限位弹簧所在的工作空腔的压帽；所述机封本体内部的安装空间内设置有用于机封动环，该机封动环为中部收缩式橡胶环；所述机封本体的安装空间的侧壁上设置有橡胶垫。本实用新型实用性强，易于推广。

基本信息

专利标题：

一种四氟化硅反应器用机封

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921528415.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-12

授权号：

CN210461692U

授权日：

2020-05-05

发明人：

刘红武雷鑫彬范金立吴前程

申请人：

浙江中宁硅业有限公司

申请人地址：

浙江省衢州市柯城区高新技术产业园区华荫北路27号

代理机构：

衢州维创维邦专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

高永志

优先权：

CN201921528415.0

主分类号：

F16J15/32

IPC分类号：

F16J15/32