一种蚀刻用后液回收系统用过滤装置
授权
摘要
本实用新型涉及蚀刻用后液回收技术领域，特别是一种蚀刻用后液回收系统用过滤装置，通过设置用于过滤蚀刻用后液中固体杂质的第一过滤器，第一过滤器之后连接有能够回收蚀刻用后液的蚀刻用后液回收系统，使蚀刻用后液在通入蚀刻用后液回收系统之前将蚀刻用后液中的固体杂质去除，防止固体杂质通入蚀刻用后液回收系统中后对其中的管路或喷嘴造成堵塞，这种结构的过滤装置，解决了蚀刻用后液回收系统中的固体杂质容易对管路或喷嘴造成堵塞；通过在第一过滤器之前设置中转缸，且连接位置为中转缸的下部，在蚀刻用后液通入中转缸之后，蚀刻用后液中的固体杂质将沉淀在中转缸底部，便于固体杂质进入第一过滤器，增加固体杂质的过滤效果。
基本信息
专利标题 ：
一种蚀刻用后液回收系统用过滤装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921534737.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-16
授权号 ：
CN211435385U
授权日 ：
2020-09-08
发明人 ：
关家彬周建新叶保基戴中辉郑健成
申请人 ：
广东德同环保科技有限公司
申请人地址 ：
广东省佛山市南海区九江镇龙高公路敦上大道2号4楼401（住所申报）
代理机构 ：
四川力久律师事务所
代理人 ：
曹华
优先权 ：
CN201921534737.6
主分类号 ：
B01D36/04
IPC分类号 ：
B01D36/04 C23F1/46
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D36/00
过滤回路或过滤器与其他分离装置的组合
B01D36/04
过滤器与沉淀箱的组合
法律状态
2020-09-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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