本实用新型公开了一种电子级高纯氢纯化装置，包括第一纯化箱体、承台板、第二纯化箱体和第三纯化箱体，所述承台板顶端的一端安装有第一纯化箱体，且第一纯化箱体一侧侧壁的底端水平安装有贯穿第一纯化箱体侧壁第一进料管，所述第一进料管外壁安装有第一阀门，所述第一纯化箱体一侧的承台板顶端安装有第二纯化箱体，且第一纯化箱体靠近第二纯化箱体一侧侧壁的顶端水平安装有贯穿第一纯化箱体侧壁并延伸到第二纯化箱体内部的第三进料管，所述第二纯化箱体远离第一纯化箱体一侧的承台板顶端安装有第三纯化箱体。该电子级高纯氢纯化装置在浓度差的作用下通过钯膜提纯可得到99.99‑99.9999％纯度的氢气，从而提高氢气提纯的纯度。