一种喷嘴及清洗装置

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摘要

一种喷嘴及清洗装置，所述喷嘴用于清洗目标清洗物，包括内管，所述内管具有第一管口和第一接口，所述内管中具有位于所述第一管口和所述第一接口之间的第一通道，第一接口位于第一通道的端部；套设于所述内管外侧的外管，所述外管中具有位于所述外管的内壁和所述内管的外壁之间的第二通道，所述外管具有第二管口，所述第二管口设置于第二通道的端部，所述第二管口沿所述外管的轴向凸出于所述第一管口，所述第二管口与所述第一通道和所述第二通道相通，所述第二管口的边缘用于与目标清洗物接触，实现了对目标清洗物特定区域的清洗。

基本信息

专利标题：

一种喷嘴及清洗装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921550371.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-18

授权号：

CN210646885U

授权日：

2020-06-02

发明人：

詹扬倪尧

申请人：

中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司

申请人地址：

上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张江路18号

代理机构：

上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

汤陈龙

优先权：

CN201921550371.1

主分类号：

B05B1/16

IPC分类号：

B05B1/16 B08B3/02