本实用新型公开了一种真空臭氧高效消毒装置，包括内胆、空气过滤器、臭氧装置、真空泵、加液器；所述内胆通过阀门a与空气过滤器连接，所述内胆通过阀门b与臭氧装置连接，所述内胆通过阀门c与真空泵连接；所述加液器的加液出口与内胆连接；所述内胆的一侧设置有柜门，所述加液器包括加液泵和储液瓶，所述内胆通过加液泵与储液瓶连接。本实用新型旨在解决针对棉被、被褥等较厚棉织品的消毒效果差的技术问题，本实用新型采用臭氧装置和加液器实现臭氧与消毒液的联合消毒，消毒效率高，并且结构简单，操作方便，无臭氧泄漏，消毒彻底，有很好的实用性，被消毒物品消毒完后无异味，也无有害物质残留，具有较好的实用性。