一种晶圆冷却盘的加工夹具
授权
摘要
本实用新型提供了一种晶圆冷却盘的加工夹具,所述的加工夹具包括基座,所述基座上设置不共线的至少三个支撑件,所述的支撑件用于在加工过程中承托晶圆冷却盘。在晶圆冷却盘的加工过程中,将晶圆冷却盘基材置于本实用新型提供的加工夹具上,由于在基座上设置了更小截面的支撑件,减小了晶圆冷却盘与传统加工夹具之间的接触面积,以便适应晶圆冷却盘在加工过程中产生的变形。由于接触面较小,在加工过程中不会阻碍产品变形,从而最大程度地释放产品的内应力,使得晶圆冷却盘自然变形。
基本信息
专利标题 :
一种晶圆冷却盘的加工夹具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921571599.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-20
授权号 :
CN213411132U
授权日 :
2021-06-11
发明人 :
姚力军潘杰王学泽边逸军周建军
申请人 :
宁波江丰电子材料股份有限公司
申请人地址 :
浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
代理机构 :
北京远智汇知识产权代理有限公司
代理人 :
王岩
优先权 :
CN201921571599.9
主分类号 :
B23Q3/06
IPC分类号 :
B23Q3/06
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23Q
机床的零件、部件或附件,如仿形装置或控制装置;以特殊零件或部件的结构为特征的通用机床;不针对某一特殊金属加工用途的金属加工机床的组合或联合
B23Q3/00
工件或刀具的夹固,支承,定位装置,一般可从机床上拆下的
B23Q3/02
装在工作台,刀具滑板,或类似部件上
B23Q3/06
工件夹紧装置
法律状态
2021-06-11 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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