一种酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型公开了一种酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备，设计要点包括：溶解吸收缸(1)、氯化亚铁吸收装置(2)、液碱洗涤塔(3)、氯气管道(6)、第一射流器(7)、第一气体管道(9)、第二气体管道(10)、氯化亚铁再生装置(4)、真空挥发装置(5)、第二射流器(14)。本实用新型旨在提供一种酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备，能够有效地处理氯气。

基本信息

专利标题：

一种酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921572125.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-20

授权号：

CN210699459U

授权日：

2020-06-09

发明人：

罗欢

申请人：

上海八菱环保科技有限公司

申请人地址：

上海市嘉定区外冈镇恒乐路85号1幢2层B区

代理机构：

北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

李海燕

优先权：

CN201921572125.6

主分类号：

B01D53/18

IPC分类号：

B01D53/18 B01D53/14 B01D53/78 B01D53/68 C23F1/46