真空泵前端的TMA尾气处理装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空泵前端的TMA尾气处理装置，包括：带有腔室的腔体和水瓶，所述腔体的腔室连通真空泵与设备排气口，使尾气经过腔室，所述水瓶与腔体通过管道连通，所述管道上设有的开关阀，所述腔体的腔室内还设有过滤组件。本实用新型通过在真空泵的前端设置腔体，并设置连通腔体的水瓶，真空泵工作时水瓶的水自动气化进入腔体的腔室与TMA气体汇合后发生化学反应产生氧化铝粉尘，大部分粉尘会吸附在隔板与腔室的内壁上，防止粉尘进入真空泵，有效起到了保护真空泵的作用，使产生的粉尘不会堵塞真空系统。
基本信息
专利标题 ：
真空泵前端的TMA尾气处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921572538.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-20
授权号 ：
CN211216007U
授权日 ：
2020-08-11
发明人 ：
张勇周湘源
申请人 ：
深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号
代理机构 ：
深圳市康弘知识产权代理有限公司
代理人 ：
万景旺
优先权 ：
CN201921572538.4
主分类号 ：
B01D50/00
IPC分类号 ：
B01D50/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D50/00
用于从气体或蒸气中分离粒子的组合器械
法律状态
2020-08-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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