电极保护装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种电极保护装置，用于保护一等离子刻蚀设备的上电极，包括：绝缘环，套设在所述上电极的外侧；遮蔽环，位于所述上电极的上方且在所述绝缘环的内环面内，所述遮蔽环的环面至少遮盖所述上电极的顶部。利用遮蔽环实现对上电极边缘的保护，避免了上电极边缘因受到电磁波和电场的影响而被刻蚀。整个装置结构简单，易于实现。
基本信息
专利标题 ：
电极保护装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921576498.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-20
授权号 ：
CN210296287U
授权日 ：
2020-04-10
发明人 ：
张军沈吉
申请人 ：
上海华力微电子有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区良腾路6号
代理机构 ：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹廷廷
优先权 ：
CN201921576498.0
主分类号 ：
H01J37/04
IPC分类号 ：
H01J37/04 H01J37/02 H01J37/30
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
法律状态
2020-04-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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