共轭校正检验非球面镜的光学系统
授权
摘要
本专利公开了一种共轭校正检验非球面镜的光学系统。检测设备中发光点发出的光线经校正透镜成像于待检非球面镜的共轭物点；待检非球面镜将共轭物点成像于共轭像点；共轭像点作为自准校正透镜的物点，光线经自准校正透镜自准原路返回。校正透镜和自准校正透镜生成球差可校正待检非球面镜在两个共轭点生成球差。共轭前后点与前区、中区、后区三个区间是相关的，大大提高了像差校正能力；自准面位于自准校正透镜上，光线两次通过待检非球面镜；自准校正透镜位于共轭前点前，校正扁球面能力强；校正透镜与自准校正透镜光路连接，校正能力更强。共轭校正检验可实现大口径、大相对孔径甚至超大口径、超大相对孔径的非球面镜检验。
基本信息
专利标题 ：
共轭校正检验非球面镜的光学系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921578776.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-23
授权号 ：
CN210864203U
授权日 ：
2020-06-26
发明人 ：
郝沛明郑列华
申请人 ：
中国科学院上海技术物理研究所
申请人地址 ：
上海市虹口区玉田路500号
代理机构 ：
上海沪慧律师事务所
代理人 ：
郭英
优先权 ：
CN201921578776.6
主分类号 ：
G02B27/00
IPC分类号 ：
G02B27/00 G01M11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B27/00
不能分入G02B 1/00-G02B 26/00,G02B 30/00的其它光学系统或其它光学仪器
法律状态
2020-06-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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