用于保证真空腔室的密封性的装置

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摘要

本实用新型公开了一种用于保证真空腔室的密封性的装置，包括：支撑架；驱动装置，固定在所述支撑架上；位置调节装置，固定在所述驱动装置上，并与真空腔室的密封盖相连；通过所述驱动装置带动所述位置调节装置运动，从而带动所述密封盖开启或关闭，其中，当所述密封盖关闭后，所述位置调节装置自动释放压紧力以挤压所述密封盖。当密封盖出现轻微移动时，位置调节装置自动释放压紧力以进一步挤压密封盖，从而使密封盖与真空腔室之间紧密配合，进而保证了真空腔室与密封盖之间的密封性，避免了因密封盖的轻微移动而出现的密封性差的现象。

基本信息

专利标题：

用于保证真空腔室的密封性的装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921580797.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-20

授权号：

CN210830451U

授权日：

2020-06-23

发明人：

赵梅玉梁仁和

申请人：

北京精仪天和智能装备有限公司

申请人地址：

北京市顺义区林河工业开发区顺仁路53号1幢3层

代理机构：

北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

郭智

优先权：

CN201921580797.1

主分类号：

F16J15/10

IPC分类号：

F16J15/10