一种气体转换装置和光刻设备
授权
摘要
本实用新型实施例提供了一种气体转换装置和光刻设备，该气体转换装置中设置有气体转换模块和气体补偿模块，该气体转换模块能够将干燥气体源提供的干燥气体转换为预设湿度范围的湿润气体，而气体补偿模块能够在预设湿度范围的湿润气体传输至应用气体输出端口前，对预设湿度范围的湿润气体传输过程中损耗或增加的湿度或温度进行精确补偿，有利于提高光刻设备的光刻质量，进而提高产品良率。
基本信息
专利标题 ：
一种气体转换装置和光刻设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921594888.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-24
授权号 ：
CN210323768U
授权日 ：
2020-04-14
发明人 ：
毛辰奇李佳
申请人 ：
上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
孟金喆
优先权 ：
CN201921594888.0
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-04-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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