一种超精密加工定位平台
授权
摘要
本实用新型公开了一种超精密加工定位平台，包括基座，所述基座上端中部对称安装有Y向导轨，Y向导轨上端中部沿Y向安装有Y向导轨永磁阵列，所述Y向导轨顶部两端固定安装有Y向导轨定子线圈绕组，所述Y向导轨上滑动连接Y向导轨滑板，Y向导轨滑板内侧对应Y向导轨永磁阵列安装有Y向滑板永磁阵列，所述Y向导轨滑板内侧台肩处对称安装有Y向滑板定子线圈绕组。本实用新型在结构上设计合理，本实用新型将永磁阵列与定子线圈绕组组成的直线电机在超精密微动定位平台中的应用可使工作台沿X、Y、Z轴做纳米级微动和微小转动，实现工作台6自由度超精密微动定位，具有反应速度快、灵敏度高、定位精确以及结构简单等优点。
基本信息
专利标题 ：
一种超精密加工定位平台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921597976.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-25
授权号 ：
CN211125041U
授权日 ：
2020-07-28
发明人 ：
毛文亮
申请人 ：
甘肃机电职业技术学院（甘肃省机械工业学校、甘肃省机械高级技工学校）
申请人地址 ：
甘肃省天水市秦州区赤峪路107号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921597976.6
主分类号 ：
G12B5/00
IPC分类号 ：
G12B5/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G12
仪器的结构零部件，或未列入其他类目的其他设备的类似零部件
G12B
仪器的零部件，或未列入其他类目的其他设备的类似零部件
G12B5/00
仪器或其他设备或其部件的位置或状态的调整，例如，水平调整；倾斜或加速影响的补偿，例如，用于光学仪器的
法律状态
2020-07-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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