一种锌挥发加热棒矩阵瓦
授权
摘要
本实用新型提供一种锌挥发加热棒矩阵瓦，它包括加热棒和分布在所述加热棒外围的多个四孔炉瓦和多个两孔炉瓦；多个所述四孔炉瓦上均等间距开设有四个炉丝孔，多个所述两孔炉瓦上均等间距开设有两个炉丝孔，多个四孔炉瓦和多个两孔炉瓦形成分体式组合炉瓦；所述加热棒包括加热棒颈部和加热棒弧形底部，所述加热棒颈部的外周均布有多个所述四孔炉瓦，所述加热棒弧形底部的外周沿该加热棒弧形底部的圆弧形状均布有多个两孔炉瓦；位于加热棒弧形底部下侧的两个两孔炉瓦两端面之间的夹角为45度角。该装置有效解决了蒸镀时由于锌挥发装置中的锌喷嘴模具板与锌挥发炉膛温差不稳定所导致的在生产过程中形成锌分子团聚颗粒的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种锌挥发加热棒矩阵瓦
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921605460.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-25
授权号 ：
CN210826341U
授权日 ：
2020-06-23
发明人 ：
王军友陈鸿杰杨晓磊
申请人 ：
郑州华晶新能源科技有限公司
申请人地址 ：
河南省郑州市高新技术产业开发区长椿路23号23号楼1栋
代理机构 ：
郑州德勤知识产权代理有限公司
代理人 ：
苏志洋
优先权 ：
CN201921605460.1
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C14/26 C23C14/14
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2020-06-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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