本实用新型公开一种链式热氧化炉，包括有石英腔体、加热灯管、弥散管、陶瓷滚轮、抽风装置、所述石英腔体表面包覆一层保温层，所述保温层采用硅酸铝材质，石英腔体上方平行于陶瓷滚轮方向均匀安装加热灯管，所述灯管外部为具有保护作用的陶瓷护套，石英腔体内部打有孔洞，所述弥散管与孔洞连通用于均匀通入氧气，陶瓷滚轮安设于石英腔体下方，通过陶瓷轴承和动力装置同步转动，实现硅片的水平横向移动，所述陶瓷轴承通过陶瓷轴承座固定，陶瓷滚轮下方设有抽风装置，本实用新型节省了氧化工序的设备包括生产成本，设备可以和链式机很好的整合在一起，下料处硅片可直接通入帘和链式去PSG槽式机，可进一步提升产能。