一种管式镀膜石墨舟、管式加热炉及太阳能电池片
授权
摘要
本申请公开了一种PECVD管式镀膜石墨舟，包括舟体及隔热板；所述舟体包括石墨舟页及连接块；所述连接块用于连接相邻的所述石墨舟页；所述隔热板设置在外舟页的外侧，与所述外舟页平行相隔有间距，用于减弱炉管至待镀膜硅片的热辐射；所述隔热板与所述舟体之间无电连接。本申请通过在所述舟体外侧增设隔热板，并规定所述隔热板与所述舟体绝缘，以免短路。本申请通过减弱垂直于所述石墨舟页的方向的热辐射，进而降低所述舟体外侧与内侧的温度差，提高整舟的硅片镀层的膜厚与折射率的均匀性和一致性。本申请同时还提供了一种具有上述有益效果的管式加热炉及太阳能电池片。
基本信息
专利标题 ：
一种管式镀膜石墨舟、管式加热炉及太阳能电池片
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921621102.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-26
授权号 ：
CN211199397U
授权日 ：
2020-08-07
发明人 ：
史伟伟游镇博彭国印刘小钢赵勇强钟文兵
申请人 ：
江西展宇新能源股份有限公司
申请人地址 ：
江西省上饶市上饶经济开发区旭日片区
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
王雨
优先权 ：
CN201921621102.X
主分类号 ：
C23C16/458
IPC分类号 ：
C23C16/458 C23C16/46 H01L31/18
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2020-08-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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