本实用新型公开一种半导体硅晶圆表面瑕疵多视角视觉检查治具，包括有机架、活动架、摆动架、承托装置、第一驱动机构以及第二驱动机构；该承托装置包括有球轴以及托盘；通过将摆动架的下端与活动架的上端铰接，并配合第一驱动机构带动活动架水平横向及纵向活动，从而通过活动架的水平横向或者纵向活动来控制摆动架万向摆动，球轴通过球头可万向摆动地安装在机架上，而且球轴的下端可转动地安装在摆动架上，从而使得球轴可以随着摆动架的摆动而相应摆动；以及，通过于摆动架上设置有第二驱动机构，从而利用第二驱动机构带动球轴转动；通过第一驱动机构和第二驱动机构来让硅晶圆朝不同方向摆动，这样就可以从多个角度对硅晶圆进行全面的检查。