一种真空溅射镀膜设备的基板抓取装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种真空溅射镀膜设备的基板抓取装置，真空吸盘固定在滑块上，滑块通过滚珠丝杆和导轨配合与机器人手臂连接，滚珠丝杆与小型伺服电机连接，真空接口使用软管与真空源连接，测距传感器安装于吸盘旁边。工作方法包括：1）机器人手臂处于测距位置，真空吸盘位于吸盘原点，各个真空吸盘与其所对应的基板理想平面的距离为d0。2）测得吸盘与基板间的距离d1，小型伺服电机根据距离信息对吸盘的伸出量进行相应的增加或减少，形成与基板弯曲形状一致的位置分布，机器人手臂完成吸真空。优点：1）提高设备稼动率。2）提高产品良率。降低来自基板磨损、划伤、破裂等方面的不良。3）减少真空吸附不良导致的基板飞出等安全隐患。
基本信息
专利标题 ：
一种真空溅射镀膜设备的基板抓取装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921629857.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-27
授权号 ：
CN210968940U
授权日 ：
2020-07-10
发明人 ：
朱子寰李亚明朱廷陈长增钟义顺
申请人 ：
南京中电熊猫液晶材料科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市栖霞区天佑路33号
代理机构 ：
南京君陶专利商标代理有限公司
代理人 ：
严海晨
优先权 ：
CN201921629857.4
主分类号 ：
B25J15/06
IPC分类号 ：
B25J15/06 B25J19/00 B25J19/02 C23C14/34
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25J
机械手；装有操纵装置的容器
B25J15/00
夹头
B25J15/06
带真空或磁力夹持装置
法律状态
2020-07-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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