一种管式PECVD炉管防尘结构
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摘要
本实用新型公开了一种管式PECVD炉管防尘结构。它包括炉管本体内平行设置的一对沿炉管本体轴向方向布置的支撑板，两块支撑板固定设置在炉管本体中上部的两侧内壁上且两块支撑板沿炉管本体中心垂线对称布置，炉管本体内还能够铺设位于两块支撑板的上方的防护板，两块支撑板之间设置有间距并能够使炉管本体内的浆料通过该间距直接与防护板接触，炉管本体内放置有位于防护板下方的石墨舟。其优点是：避免了在非晶硅沉积过程中产生的粉尘、反应沉积物掉落在硅片表面，从而保证了硅片表面的洁净度，解决了正常作业过程中的粉尘及反应沉积物堆积在舟中硅片表面的问题，从而减少了炉管的清理周期，还大大提高了制程过程良率和最终成品电池片的转换效率。
基本信息
专利标题 ：
一种管式PECVD炉管防尘结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921646763.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-29
授权号 ：
CN211227334U
授权日 ：
2020-08-11
发明人 ：
黄金李高非王继磊白焱辉张娟杨骥高勇贾慧君
申请人 ：
晋能光伏技术有限责任公司
申请人地址 ：
山西省晋中市榆次区晋中开发区迎宾西街和田商务楼908室
代理机构 ：
镇江京科专利商标代理有限公司
代理人 ：
朱坤保
优先权 ：
CN201921646763.8
主分类号 ：
C23C16/50
IPC分类号 ：
C23C16/50 H01L31/18
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/50
借助放电的
法律状态
2020-08-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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