一种改变滚轮印的硅片清洗传动机构
授权
摘要

本实用新型涉及传动机构技术领域,且公开了一种改变滚轮印的硅片清洗传动机构,包括清洗池,所述清洗池的一端侧壁上固定安装有支撑板,所述支撑板上固定安装有电动机,所述电动机上固定安装有齿轮带,所述齿轮带的内部固定安装有转动轴。本实用新型通过将上传动轴和下传动轴从原有技术的多个传动凸块改进为没有凸片可以避免硅片清洗上附有印记,保证硅片在清洗过程中保持干净,方便冲洗,并在清洗池与滚轴连接处的侧壁上设有大于滚轴直径的空槽,且在滚轴两端固定安装具有减震缓冲的弹簧,避免因硅片高度导致的硅片被上传动轴和下传动轴压损碾碎,保证了硅片的完整性,保障了硅片清洗工序的顺利进行。

基本信息
专利标题 :
一种改变滚轮印的硅片清洗传动机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921647867.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-30
授权号 :
CN211275634U
授权日 :
2020-08-18
发明人 :
李伟戴磊王波波吴斌华夏康蓝希旺
申请人 :
中赣新能源股份有限公司
申请人地址 :
江西省鹰潭市余江县龙岗工业园区
代理机构 :
温州名创知识产权代理有限公司
代理人 :
程嘉炜
优先权 :
CN201921647867.0
主分类号 :
B08B3/02
IPC分类号 :
B08B3/02  B08B13/00  B08B15/04  H01L21/67  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2020-08-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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