一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统,主要包括:依次为进片腔室、过渡层沉积腔室、金属碳化物层沉积腔室和出片腔室;各个腔室的进出口均设有腔室阀门,腔室阀门将两侧的腔室相互隔开;样品传动装置穿过各个腔室内的底部,形成一条闭合回路;样品架设在样品传动装置上,带着样品从左至右依次穿过各个腔室。本实用新型采用非平衡磁场和平衡磁场的结合,对磁场方式,电源系统和靶基距的匹配优化,提高了金属碳化物涂层的结合性能和稳定性能;采用连续化的小型沉积设备,引入机械手等自动化设备实现对金属碳化物涂层的快速沉积,可降低涂层制备成本。
基本信息
专利标题 :
一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921655895.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-30
授权号 :
CN210657123U
授权日 :
2020-06-02
发明人 :
毕飞飞黎焕明姜天豪蓝树槐彭林法
申请人 :
上海治臻新能源装备有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区泥城镇层林路1500号1幢厂房
代理机构 :
上海世圆知识产权代理有限公司
代理人 :
陈颖洁
优先权 :
CN201921655895.7
主分类号 :
C23C14/56
IPC分类号 :
C23C14/56 C23C14/35 C23C14/06 C23C14/16
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备;维持真空的装置,例如真空锁定器
法律状态
2022-01-11 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : C23C 14/56
变更事项 : 专利权人
变更前 : 上海治臻新能源装备有限公司
变更后 : 上海治臻新能源股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 201306 上海市浦东新区泥城镇层林路1500号1幢厂房
变更后 : 201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区层林路1500号1幢厂房
变更事项 : 专利权人
变更前 : 上海治臻新能源装备有限公司
变更后 : 上海治臻新能源股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 201306 上海市浦东新区泥城镇层林路1500号1幢厂房
变更后 : 201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区层林路1500号1幢厂房
2021-02-05 :
著录事项变更
IPC(主分类) : C23C 14/56
变更事项 : 发明人
变更前 : 毕飞飞 黎焕明 姜天豪 蓝树槐 彭林法
变更后 : 毕飞飞 黎焕明 姜天豪 蓝树槐
变更事项 : 发明人
变更前 : 毕飞飞 黎焕明 姜天豪 蓝树槐 彭林法
变更后 : 毕飞飞 黎焕明 姜天豪 蓝树槐
2020-06-02 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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