超净高效电子级氢氟酸提纯装置

授权

摘要

本实用新型公开了超净高效电子级氢氟酸提纯装置，包括第一化学处理槽，所述第一化学处理槽的一侧从左至右横向依次排列有第一蒸馏塔、第一冷凝槽、第一输送泵、第二化学处理槽、第二蒸馏塔、第二冷凝槽、第二输送泵、第三化学处理槽、第三蒸馏塔、第三冷凝槽、第三输送泵和储料罐；该装置通过管道输送将化学处理槽与多个蒸馏塔和冷凝槽相连接，循环三次氧化蒸馏冷凝过程，保证氢氟酸纯净度；通过对冷凝槽检测三个取样点中氢氟酸的主要杂质含量，调整高锰酸钾与双氧水配比参数，保证氧化剂中的离子与氢氟酸分离，方便氧化剂比例实时调控；利用已有调控参数记录，可整理出氧化剂量和杂质含量对应关系，方便以后操作。

基本信息

专利标题：

超净高效电子级氢氟酸提纯装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921677483.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-09

授权号：

CN210915306U

授权日：

2020-07-03

发明人：

廖志鹏董俊卿王鑫金朝帅邹严宇

申请人：

浙江森田新材料有限公司

申请人地址：

浙江省金华市武义县青年路胡处工业区

代理机构：

杭州新泽知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

贾莲莲

优先权：

CN201921677483.3

主分类号：

C01B7/19

IPC分类号：

C01B7/19