一种金刚石单线电火花复合加工装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种金刚石单线电火花复合加工装置，包括线辊驱动电机，所述线辊驱动电机的一端设置有线辊，通过脉冲电源、正极进电线、负极进电线与进电电刷，将传统电火花放电加工与金刚石线切割技术相结合实现电火花金刚石线复合加工半导体晶硅，针对金刚线切割加工半导体等晶硅的加工表面微裂纹、划痕等表面缺陷问题，在金刚线单线切割的基础上加入电火花放电加工实现加工表面的提升，为其在半导体行业的推广应用提供帮助，且电火花金刚石线复合加工半导体晶硅，电火花放电加工产生的加工表面的凹坑有利于降低后续制绒工序的工作强度，甚至进一步实现金刚石多线切割机晶硅切片的晶元制绒一体化。
基本信息
专利标题 ：
一种金刚石单线电火花复合加工装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921707968.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-12
授权号 ：
CN211074276U
授权日 ：
2020-07-24
发明人 ：
仇健葛任鹏
申请人 ：
青岛高测科技股份有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市高新技术产业开发区火炬支路66号
代理机构 ：
北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
郭智
优先权 ：
CN201921707968.2
主分类号 ：
B28D5/04
IPC分类号 ：
B28D5/04 B28D7/00 B28D7/04 B24B27/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工，例如半导体材料的精加工；所用设备
B28D5/04
用非旋转式工具的，例如往复式工具
法律状态
2020-07-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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